Kiemelt tulejdonságok:
• Rendkívüli karbon mérés (SPECTROMAXx 20 ppm – FMP < 10 ppm)
• Könnyű karbantartás, például a közvetlen fény lencséjének a tisztítása.
• Nincs argon lerakódás a lencserendszeren (légy óvatos: Spectro azt állítja, ez csak áramlás kérdése De: az optikán mindig szükséges az áramoltatás!)
• Jet-Stream erőteljes áramlás a drótok és egyéb szabálytalanan alakzatok könnyebb méréséért. (Nitrogén csak a sík felületeken mérhető, amik lezárják (tömítik) a szikraállás felületét!)
Újdonságok:
• Nitrogén mérése az acélban
• P mérése az alumíniumban
• Ultra alacsony karbon analízis (10ppm)
• Javított LOD ppm, Pb, Si, Sn...
• Újabb mérhető elemek Se, La, Te...
• Fejlesztett szikraállás
• Új digitális szikra generátor
• Új ipari desing.
Speciális vákumrendszer:
• Megengedi a mérést az alsó 130 nm tartományban
• Nincs argon miatti tisztítás az optikán
• Könnyű üzemeltetői karbantartás / az ablakokat a vákuum érintése nélkül tisztíthatjuk
• Növelt a vákuum szint ellenőrzés – az értékeket a szoftver figyeli
• Edwards kétfokozatú vákuum szivattyú, olaj és olajfüst szűrővel
Új speciáis optikai rendszer:
• Hullámhossz tartomány 130 – 800 nm
• Új prizma rendszer
• Pneumatikus fény út zárak
• Második optika a Na, K, Li... elemeknek mérésére
• Szórás: 0,9 nm/mm, 1st order
• Pixel összetevő: 12 picometer
• 13 db CCD mindegyik 2048 pixel soros
• A közvetlen fény útban csak egy lencse van (a VUV képességért MgF2 -ből készül)
Műszaki paraméterek:
• Magasság 1130 mm
• Szélesség 720 mm
• Mélység 840 mm
• Súly 160 kg (vákum szivattyú nélkül)
• Hálózati fesz. 110/230 V, 50/60 Hz
• Fogyasztás max. 2 kW (incl. vacuum pump),
• Fogy. középért. 1,2 kW